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Picarro宣布用於半導體晶圓廠的氣體分子污染監測系統

商業

加利福尼亞州聖克拉拉市2020年3月25日 /美通社/ --Picarro宣布推出經我們完全優化的AMC監控系統——Picarro SAM(取樣Sample、分析Analyze和監測Monitor)。該系統由Picarro在業界領先的基於CRDS的傳感器組成,該傳感器已集成到最新的採樣系統中。SAM單元可提供高通量採樣,而不會影響傳感器的性能。

Picarro AMC Monitoring System
Picarro AMC Monitoring System

新的Picarro SAM系統是從組件產品到系統解決方案的重大轉變。一站式的設計、製造和測試系統的好處包括:

  • 針對Picarro硬件和軟件設計且完全集成的系統——無集成兼容性問題
  • Picarro SAM系統進行過精心優化——系統性能符合Picarro Semi系統規格

新發明的、正在申請專利的氣體輸送歧管促成了SAM的顯著性能優勢,使其在很短的時間內達到萬億分之幾(ppt)的檢測靈敏度,並能快速將SAM系統恢復到基線靈敏度水平。這使得SAM成為在線實時AMC監視系統的理想選擇。該系統帶有易於使用的圖形用戶界面,可進行各種圖表和趨勢分析。

SAM可以配置為從8個或16個端口採樣,並且目前可用於檢測氨、氟化氫和鹽酸,這三個關鍵AMC會影響半導體晶圓的產量。展望未來,我們將根據Picarro的半導體產品路線圖為其它氣體提供SAM系統。

SAM系統路線圖還將支持複雜的AMC分析,以幫助客戶更準確地快速識別AMC事件的位置,從而允許採取更快的糾正措施,以提高與AMC相關的晶圓產量。

關於Picarro:

Picarro為實時AMC監測提供行業領先的解決方案。與現有的AMC測量技術(例如離子遷移譜(IMS)和離子色譜法)相比,其光腔衰盪光譜技術(CRDS)具有明顯的優勢。 Picarro的SI2000系列分析儀可在數秒而不是數小時內對快速潔淨室中的污染物進行響應。 Picarro分析儀具有萬億分之一(ppt)含量水平的實時連續分析功能,可為無塵室、FOUP和晶圓廠設備中的AMC監控提供污染事件的預警。有關Picarro Inc.的其它信息,請訪問semi.picarro.com或我們的Twitter。

Photo - https://mma.prnewswire.com/media/1137282/Picarro_SAM_system.jpg 
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