Advanced Energy 推出適用於製程反應室清洗系統的 MAXstream 遠端電漿源產品系列

台灣 - Media OutReach - 二零二零年十二月十八日 - Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS) 一直致力於開發各種先進的高精度電源轉換、測量和控制系統等解決方案，這方面的技術更一直領先全球。該公司宣佈推出一系列全新的 MAXstream^TM 遠端電漿源 (RPS) 產品，其特點是適用於半導體晶片製程的反應室電漿清洗系統。MAXstream系列產品有多個不同型號，作業範圍非常寬廣，其他優點包括電源準確度較高、優於同級產品的電漿噴射引燃能力、以及更高的穩定性，因此這是市場上最理想的遠端電漿源解決方案。

Advanced Energy 半導體產品副總裁暨總經理 Peter Gillespie 表示：「我們的客戶曾向我們表示市場上欠缺一款高效能而又穩定可靠的RPS產品，希望 Advanced Energy 能夠進軍這個市場，滿足業者的需求。我們順應時勢，實現他們的夢想。這系列全新的MAXstream產品不但為客戶的製程設備提供一個極具成本效益而又穩定可靠的RPS解決方案，而且還讓 Advanced Energy 因應市場趨勢，加快進軍這個近年少有創新技術出現但年銷售額約值1.5億美元的RPS市場 ¹。至今為止，這系列產品在市場上很受歡迎，對我們來說這是一個很大的鼓舞。我們在今個月內會繼續交貨予多個OEM客戶，預計會繼續取得亮麗的成績。」

MAXstream遠比競爭對手的RPS解決方案優勝，因為這款新產品的雙電漿源引燃核心採用完善的設計，確保電漿引燃時保持優於同級競爭產品的穩定性。由於每次分開出擊的引燃非常穩定可靠，令整個作業能保持其穩定性，減少壞機情況出現。MAXstream也充分利用 Advanced Energy 使用多年並證實有效的分離電漿源物料和相關技術，確保可延長製程反應室的壽命周期以及減少由此而產生的微粒。

Advanced Energy 的 MAXstream RPS 產品可以輕易插入現有的RPS系統之中，以確保可與現有系統無縫銜接，方便換代更新。客戶只要取出一向表現不太理想RPS，改用MAXstream便可提高製程設備的生產力、效能和穩定性。他們也可獲得 Advanced Energy 提供優於競爭對手的全球服務和支援。Advanced Energy 在世界各地設有十多間服務中心，為各地客戶提供現場服務和應用技術支援。

MAXstream產品系列共有MAXstream 300、600、800、1000和1200等多個不同型號，每分鐘的氣體流量分別為3、6、8、10和12公升(liter)，讓客戶可以按照自己的製程，選用一款價格符合預算而又能充分發揮系統效能的型號。MAXstream 300 適用於較低流量的製程 (用於清洗的氣體每分鐘流量高達3公升)，外型則比高流量的型號更為小巧。