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Advanced Energy 的10kW電源供應器配備先進脈衝功能,讓生產商可充分利用極度精確和可客製的電漿電源控制功能

商業

這款 Ascent® SMS AP 電源供應器配備效能更高的電弧管理功能,另外還內建製程特性分析功能,因此可以透過配置優化產量和生產良率

臺灣 - Media OutReach - 二零二一年十二月九日 - Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) 一直致力於開發各種先進的高精度電源轉換、測量和控制系統等解決方案,這方面的技術更一直領先全球。該公司宣佈推出電漿電源供應器系列的另一款新產品,這款全新的10kW脈衝直流電源供應器不但配備領先業界的電源和控制功能,而且還預裝了 PowerInsight by Advanced Energy™ 這套嵌入式製程優化程式。這款 Ascent® SMS AP (先進脈衝) 電源供應器配備已註冊專利的脈衝技術,成功將優化的電弧管理和精確的電漿電源控制功能引進到技術要求極為嚴格的薄膜沉積應用之中,其中包括半導體以至太陽能光伏電池生產等方面的應用。




這款10kW Ascent SMS AP 電源供應器的外型小巧,但其安全工作區(SOA)範圍極為寬廣,例如峰值電壓高達1200V,而頻率則介於0.5至150kHz之間。這款電源供應器的漸進式電弧管理系統共有4個不同的單元,而且可支援全範圍逆向電壓作業,是目前業界極為先進的電源解決方案,所儲存的電弧能量最少,而且所提供的電弧參數均可自我調節,讓有關參數可以按照製程步伐靈活調節。其中輸出的先進脈衝(AP)波形可以支援升壓、逆向電壓控制以及先進脈衝整形等功能,以便因應薄膜型態和要求的薄膜特性實現波形的微調。


Advanced Energy 電漿電源產品資深行銷總監 Dhaval Dhayatkar 表示:「Advanced Energy 將會繼續致力於提升脈衝直流電源供應器的效能,確保這系列產品適用於單一磁控濺鍍方面的應用,而且還有舊式產品所無的適應能力。這款全新的10kW Ascent SMS AP 電源供應器充分利用 Advanced Energy 的許多尖端技術,其中包括可高度配置的波形、漸進式電弧管理、優於同級產品的安全工作區(SOA)範圍、寬廣的頻率範圍、以及我們公司的 PowerInsight 製程優化軟體,讓我們的客戶可將先進半導體製程技術的精準度、可重複性和生產良率提升至最高的水平。」


這款全新的電源產品是 Advanced Energy 首款預裝了 PowerInsight 製程特性分析應用程式和相關優化軟體的電源供應器。這套PowerInsight軟體可蒐集、分析和轉譯來自關鍵饋電系統的資料,讓用戶可利用這些極為實用的資料優化製程,以提升產量和生產良率,以及減少無法預測的製程設備故障停機時間。由於 Advanced Energy 這系列脈衝直流電源供應器內建 PowerInsight 軟體,因此可減少出現電弧的次數,並可提高沉積率,改善薄膜層的形態和特性。

 

查詢有關產品的詳細資料和技術規格,可登入 www.advancedenergy.com/products/plasma-power-generators/pulse-dc-systems/ascent-ap-series 網頁查閱。


Advanced Energy 簡介

Advanced Energy (納斯達克:AEIS) 致力為任務關鍵型應用和製程設備設計並製造先進精密的電源轉換、測量和控制系統解決方案,這方面的技術一直領先世界。AE 一直為客戶提供各種電源解決方案,讓客戶可針對不同工業的各種複雜應用,開發各種創新產品,其中包括半導體工業設備、工業製品、生產設備、電信設備、資料中心運算系統和護理設備。憑借廣泛而深厚的專業積累和觸及全球的快速響應服務網路,AE 力圖通過緊密的合作夥伴關係來滿足技術的快速發展、推動客戶的增長並助力技術的未來。AE 總部位於美國科羅拉多州丹佛市,三十多年來一直致力為全球客戶提供盡善盡美的電源產品。如需進一步查詢相關資料,請登入 www.advancedenergy.com 網頁瀏覽。


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